全國免費咨詢熱線
15720490226
免費咨詢熱線
15720490226電子半導體廢氣治理方案
電子廠半導體筒式沸石轉輪技術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。
半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。
半導體制造工藝產生的揮發性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與半導體制造工藝相比，半導體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產生的烘烤廢氣
針對電子廠半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉輪廢氣處理技術的凈化原理是：
將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，終產生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
我公司定制的半導體有機廢氣處理系統方案，VOCs排放濃度符合當地的排放標準，在半導體行業中該系統設備更科學、更安全、高效率的解決廢氣問題，性價比更高，且無二次污染。
版權所有©河北廣綠環保設備有限公司 ICP備案號：冀ICP備12006251號-1
冀公網安備 13092602000109號
技術支持：滄州瑞智網絡
